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非球面玻璃模造用碳化钨模仁磁控溅射铼–铱镀膜工艺优化

2013-03-01 112279 857.43K 0
    通过钽过渡镀层与铼–铱复合镀层相结合的膜层结构,解决了非球面玻璃模造碳化钨模仁热压寿命短、沾黏等问题。通过离子源和镀膜层厚度参数的优化调整,得到了最佳镀膜工艺和参数,改善了模仁的表面品质,延长了模仁的使用寿命。镀钽膜层15 min 及铼–铱膜层21 min 后所得镀膜的总厚度约为270 nm,模仁热压寿命可超过3 000 次。


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