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191513-综述金属掺杂对类金刚石薄膜结构和性能的影响

日期:2019-08-27     浏览:95    下载:0     体积:2.09M     评论:0    


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 摘要:类金刚石(DLC)薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,但薄膜内部有很高的残余应力,与基体结合强度较低,这大大的限制了DLC 薄膜的厚度与应用范围。通过金属掺杂可有效调控DLC 薄膜的力学、摩擦学、生物学等方面的性能。根据金属元素在非晶碳基质中的存在形式,将金属掺杂类金刚石薄膜(Me-DLC)分为两类:弱碳金属掺杂类金刚石薄膜(如Al-DLC 和Ag-DLC)和亲碳金属掺杂类金刚石薄膜(如Ti-DLC 和Cr-DLC)。根据目前已有的研究,对这两类Me-DLC 的结构和性能进行了归纳及分析。
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