摘要：采用直流磁控溅射法在AZ31 镁合金上制备了TiCN 涂层。采用X 射线荧光光谱仪、扫描电镜和X 射线衍射仪表征了涂层的化学成分、表面形貌和物相，并采用电化学阻抗谱、浸泡试验、显微硬度测试和磨损试验考察了基体偏压(−40、−60 和−80 V)对涂层性能的影响。结果表明，涂层由TiCN 和TiN 组成。随着负偏压增大，涂层中Ti、C 元素含量增加，N 元素含量减小，而显微硬度提高，物相组成和择优取向发生变化。−60 V 偏压下所制涂层的表面粗糙度最小，耐蚀性最好。3 种偏压下所制涂层的摩擦因数均小于0.3，磨损率在10−6 mm3/(N·m)数量级。
