推广 热搜:   电镀  化学镀  无氰  镀镍    活化  化学镀镍  表面处理  镀铜 

210110-电化学测试技术在集成电路制程化学机械抛光中的应用现状

2021-01-29 510 0.85M 0

摘要:简述了包括开路电位法、极化曲线法、恒电位法、电化学阻抗谱在内的常规电化学测试技术的原理。总结了近几年内这几种电化学测试技术在化学机械抛光领域研究中的应用现状,展望了未来的发展方向。




您还没有登录,请登录后查看详情


反对 0举报 0 收藏 0 打赏 0评论 0
本类推荐
下载排行
网站首页  |  支付流程  |  会员升级  |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  版权隐私  |  网站地图  |  排名推广  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报  |  粤ICP备05085172号-4