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211907-AZO 基双层/多层薄膜的制备及性能

2021-10-26 440 3.72M 0

作者:赵佳乐,段林烨,邹石坪,李保家,杨光宇,黄立静


单位:江苏大学材料科学与工程学院;江苏大学微纳光电子与太赫兹技术研究院;江苏大学机械工程学院


摘要:采用磁控溅射法在普通钠钙浮法玻璃表面先获得厚度为 50 nm 的 AZO(掺铝氧化锌)底层,然后制备出不同 Ag 层厚度(4、 6、8 或 10 nm)的 Ag/AZO 双层膜以及不同 AZO 顶层厚度(10、30、50 或 70 nm)的 AZO/Ag/AZO 多层膜,考察了它们的表面 形貌、晶体结构、方块电阻、透光率和品质因子。结果表明,Ag 层厚度为 6 nm 时,Ag/AZO 双层膜表面 Ag 粒子分布均匀,致密度较好,晶粒尺寸最大,综合性能最佳。在此双层膜的基础上沉积 50 nm 厚的 AZO 顶层可以较好地覆盖 Ag 层,提高薄膜的致密度,令晶粒尺寸明显增大,得到综合性能最佳的 AZO/Ag/AZO 多层膜。













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