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220105-铜构件磁控溅射多层膜及其耐蚀性

2022-01-24 1020 6.1M

作者:温佳源,宋贵宏,赵鑫,贺春林


单位:沈阳工业大学材料科学与工程学院;沈阳大学辽宁省先进材料重点实验室


摘要:先在铜基体上电镀 Ni 层,接着溅射沉积 Ni–Cr 和 Ni–Cr–Al–Si 合金薄膜。对比了 Ni 层、Ni/Ni–Cr 复合膜层和 Ni/Ni–Cr/ Ni–Cr–Al–Si 复合膜层的相结构、微观形貌和耐蚀性。结果表明,Ni 电镀层表面光滑,Ni/Ni–Cr 复合膜层和 Ni/Ni–Cr/Ni–Cr–Al–Si 复合膜层表面都由致密、连续的团簇颗粒组成。铜基体与 Ni 电镀层之间、Ni 电镀层与溅射沉积薄膜之间都紧密结合。3 种试样在海水中的腐蚀机制相同,Ni/Ni–Cr/Ni–Cr–Al–Si 复合膜层的耐蚀性最佳。













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