推广 热搜:   电镀  化学镀    镀镍  无氰  表面处理  化学镀镍  活化  镀铜 

221111-18-冠醚-6 对金属Co 在化学机械抛光液中腐蚀的影响

2022-07-13 371 2.06M

作者:朱甜甜,胡连军,王昊,刘玉岭,潘国峰

单位:河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;天津电子材料与器件重点实验室,天津 300130

摘要:在含双氧水(H2O2)10 mL/L 和氨三乙酸(NTA)20 mmol/L 的溶液(pH = 9)中分别加入0.5、1.0、1.5 和2.0 mg/L 的18-冠醚-6,研究了在弱碱性条件下18-冠醚-6 对金属钴(Co)电化学腐蚀的影响。结果表明:随着18-冠醚-6 质量浓度的增加,钴与氮化钛(TiN)的腐蚀电位差先降低后升高,当18-冠醚-6 为1.0 mg/L 时最低,而钴的腐蚀电流密度越来越小。通过扫描电镜(SEM)形貌表征和X 射线光电子能谱(XPS)分析可以证实,18-冠醚-6 的加入使钴表面的电化学腐蚀得到了有效抑制,显著改善了Co在化学机械抛光(CMP)后的表面状态。














反对 0举报 0 收藏 0 打赏 0
本类推荐
下载排行
网站首页  |  支付流程  |  会员升级  |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  版权隐私  |  网站地图  |  排名推广  |  积分换礼  |  网站留言  |  违规举报  |  粤ICP备05085172号-4