作者：朱甜甜，胡连军，王昊，刘玉岭，潘国峰
单位：河北工业大学电子信息工程学院，天津 300130；天津电子材料与器件重点实验室，天津 300130
摘要：在含双氧水(H2O2)10 mL/L 和氨三乙酸(NTA)20 mmol/L 的溶液(pH = 9)中分别加入0.5、1.0、1.5 和2.0 mg/L 的18-冠醚-6，研究了在弱碱性条件下18-冠醚-6 对金属钴(Co)电化学腐蚀的影响。结果表明：随着18-冠醚-6 质量浓度的增加，钴与氮化钛(TiN)的腐蚀电位差先降低后升高，当18-冠醚-6 为1.0 mg/L 时最低，而钴的腐蚀电流密度越来越小。通过扫描电镜(SEM)形貌表征和X 射线光电子能谱(XPS)分析可以证实，18-冠醚-6 的加入使钴表面的电化学腐蚀得到了有效抑制，显著改善了Co在化学机械抛光(CMP)后的表面状态。
