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221112-蓝宝石镀MgF2 减反射膜在微米划擦过程中的失效与变形分析

2022-07-13 390 1.88M

作者:靳磊,梁梦媛,凌真,鲍贤勇

单位:飞亚达精密科技股份有限公司,广东 深圳 518057

摘要:为了研究蓝宝石镀MgF2 减反射膜在划擦时的失效过程,通过微米划痕试验研究了薄膜的失效形式及其在划擦过程中的弹−塑性变形。结果表明:MgF2 薄膜失效的临界载荷为1.36 N,失效形式为划痕边缘和内部都出现剥落;在到达临界载荷前,MgF2 薄膜持续发生塑性变形,蓝宝石基体的弹性变形则逐渐增大,展现出较强的薄膜塑性变形和基体弹性变形能力。提高薄膜的塑性变形量是提高抗划擦能力的有效途径。















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