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221309-基体偏压对多弧离子镀制备CrAlN 薄膜组织和性能的影响

2022-08-05 80 1.94M

作者:付泽钰,王天国

单位:湖北汽车工业学院材料科学与工程学院,湖北 十堰 442002

摘要:采用多弧离子镀技术在H13 模具钢表面制备CrAlN 薄膜,通过扫描电镜(SEM)和X 射线衍射仪(XRD)研究了CrAlN 薄膜的表面形貌与物相组成,测试了CrAlN 薄膜的显微硬度及其与基材的结合力,使用箱式电阻炉考察了CrAlN 薄膜在800 °C下的抗氧化性能,通过动电位极化曲线测量分析了CrAlN 薄膜的耐腐蚀性能。结果表明:随着偏压增大,CrAlN 薄膜表面大颗粒先减少后增多,晶粒尺寸先减小后增大。CrAlN 薄膜表面检测出CrN(200)、CrN(220)及AlN(101)衍射峰,且偏压变化不影响物相组成。随着偏压增大,CrAlN 薄膜的力学性能、抗高温氧化性能及耐腐蚀性能先提高后降低。偏压为100 V 时,CrAlN 薄膜最均匀致密,表面大颗粒最少,显微硬度及膜基结合力最高(分别约为2 300 HV 和23 N),抗高温氧化及耐腐蚀性能最佳。














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