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170105-CrN/DLC复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究

   日期:2017-01-30     作者:李福球,林松盛等    浏览:2431    评论:0    
核心提示:DOI: 10.19289/j.1004-227x.2017.01.005摘要:采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16 mm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁
 DOI: 10.19289/j.1004-227x.2017.01.005

 

摘要:采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16 mm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁控溅射+阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3 mm的类金刚石(DLC)膜层,分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析和测试了CrN、DLC、CrN/DLC等3种膜层的表面和截面形貌,厚度,显微硬度,结合力以及耐磨损性能。结果表明,采用上述方法制备的CrN/DLC复合膜具有良好的综合性能,膜层界面明晰、结构致密,膜基结合力大于60 N,显微硬度达到2 200 ~ 2 600 HV,磨损率为1.8 × 10−16 m3/(N·m),耐磨损性能优于CrN和DLC单层膜。

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