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170901-基于多场耦合的旋转圆盘电极法研究酸性镀铜

   日期:2017-06-15     作者:冀林仙,聂合贤    浏览:3535    评论:0    
核心提示:DOI: 10.19289/j.1004-227x.2017.09.001摘要:采用多物理场耦合方法建立了旋转圆盘电极(RDE)电镀酸铜的模型,分析了电解池内不同
 DOI: 10.19289/j.1004-227x.2017.09.001

摘要:采用多物理场耦合方法建立了旋转圆盘电极(RDE)电镀酸铜的模型,分析了电解池内不同RDE转速下的流场分布与扩散层分布特征,探讨了镀铜过程中RDE的转速及尺寸对电极表面电流密度与镀层厚度分布的影响,为电镀件表面电流密度分布和镀层厚度均匀性的研究提供理论指导。

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